厚み測定装置 EH-3000
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接触式、超高精度、測定最小表示値 0.01μmガラス・金属・フィルム・プラスチック等の厚さを測定します 本測定装置は、ガラス・金属・フィルム・プラスチック等の厚みをレーザーホロゲージ２本を用いて、ワークに両面から接触させ、その距離を演算測定し測定値をデジタル表示させます。 |
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特徴
- 測定対象ワーク
- ウエハー ガラス 金属 プラスチック フィルム 他
- 測定最小表示値
- 0.01μm
- 測定精度
- ±２σ において±0.05μm以内
条件：ブロックゲージ1.0mm（厚み）における定点繰返し１０回の測定誤差
製品仕様
| 項 目 | 内 容 |
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| 測定ヘッド |
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| 表示部 |
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| 測定厚み範囲 | 数10μm～8.0mm （標準品） |
| 指示精度 | 0.1μｍ以内 |
| 繰返し精度 | ブロックゲージ1.0mm（厚み）における定点繰返し10回の 測定誤差：±2σ において±0.05μm以内 |
| 測定ワークの供給 (装置へのセット) |
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| データー取込み |
測定スタートから“SW”ON後測定表示まで4秒以内 |
| ゲージブロック | セラブロック（校正証明書付き） 厚み t＝1.0mm （製品納入時付属品として添付） |
| サイズ |
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| 電源 | AC100Ｖ±10％ 50／60Hz 50VA |
| 空気源 | 0.4～05Mpa （約4.1～5.2Kgf／cm² ） |
| 質量 | 30Kg以下（標準品） |
| 装置環境 |
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